刘世元教授应邀参加第12届国际测量技术与智能仪器研讨会

    2015年09月22日至28日，NOM研究组刘世元教授、江浩副教授应邀赴台北市参加了国际计量与仪器委员会(The International Committee on Measurements and Instrumentation, ICMI)主办的第12届测量技术与智能仪器国际研讨会（The 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, ISTMII 2015）暨2015海峡两岸量测科技论坛。会上，刘世元教授做了题为"Mueller matrix ellipsometry: A power tool for nanostructure metrology in manufacturing"的特邀报告。在本次大会上，刘世元教授当选为ICMI委员会委员(Council Member)，成为该委员会最近两届（每两年一届）新增补的唯一一位新委员。 

    报告中，刘世元教授首先指出批量化纳米制造对纳米测量技术提出的新需求，即快速、高精度、低成本、非破坏。而Mueller矩阵椭偏仪正是满足这种要求的纳米测量仪器。接着，刘世元教授介绍了基于椭偏散射信息的纳米结构测量基本原理，说明其实质是一种基于模型的计算测量，指出其面临可测量性、误差分析与测量不确定度评估、测量条件优化配置、正向模型快速精确求解、以及待测参数快速鲁棒提取等基础科学问题与关键技术挑战。然后，刘世元教授从Mueller矩阵椭偏仪自主研制、计算测量基础理论与关键技术、以及Mueller矩阵椭偏仪在纳米结构测量中的探索应用等三个方面，系统介绍了NOM研究组近年来承担国家自然科学基金"基于广义椭偏仪的纳米结构三维形貌参数测量理论与方法研究"和国家重大科学仪器设备开发专项"宽光谱广义椭偏仪设备开发"等项目的研究成果，阐明了椭偏散射测量技术特别适合于大面积纳米结构制造过程的非破坏性、在线、精确测量。最后，刘世元教授对纳米测量技术未来的发展进行了展望并提出了若干建议。 

    据了解，本次会议由台湾大学承办，宗旨是为了促进海峡两岸在精密工程与纳米技术领域与国际团队的交流及科技人才的互动，会议的主题为：量测科技与智能仪器。与会学者围绕测量技术与智能仪器这一研究领域，对测量需求、技术发展态势、发展目标、科技前沿等问题进行了深入的探讨，为量测科技与仪器智能领域的未来发展指明了道路。会后，刘世元教授和江浩副教授还应邀访问了台湾大学、台北科技大学等院校实验室，并与其研究人员进行了广泛的交流。