beat365手机版官方网站先进制造实验中心引进FEI公司的Helios NanoLab G3 CX聚焦离子/电子双束系统Small dual beam已安装调试并正常使用1学期，根据目前校内外对该设备的使用需求，现面向整个校园和社会全面开放，开放时间为：8:00 - 22：00（包括周末和法定节假日）。欢迎大家预约使用！
聚焦离子/电子双束系统是具有微纳米精密加工能力且集多种观测与分析功能于一体的分析仪器，其主要功能及特点如下：
1. TEM透射电镜样品制备
可将样品打薄至50-60nm，加工速度快、精度高。适用于表面薄膜、涂层TEM样品；焊接界面TEM样品；晶界界面以及相界面等。制得的TEM样品可以直接用TEM透射电子显微镜观察，无需其它处理，特别适用于TEM高精度分析。
2. 纳米尺度复杂图案加工
对于硅及金属样品可进行表面复杂图案刻蚀，单图案加工范围从200nm～50um（对于图案大于50um的加工可分为多部分加工），加工深度范围20nm~10um，加工后样品表面粗糙度可达1nm，与传统机械仪器精密加工有着巨大的改进。
3. SEM扫描电子显微镜结构分析
配备高精度场发射扫描电子显微镜镜，最高放大倍数可达100万倍，提供比传统电镜更好、更快的材料二维、三维表征和分析。
4. EDAX能谱分析
配备有能谱仪，能够测量样品的具体成分，可同时进行点、线、面扫描进行成分分布分析）。成分分析主要用于材料领域，可以随时查看材料合成情况。
聚焦离子/电子双束系统主要性能指标如下：
| 离子束系统 |
电子束系统 |
| l 图像分辨率：4nm(30kV) |
l 二次电子像分辨率：0.8nm(15kV)，1.4nm(1kV) l<span "="" style="font-size:7pt;line-height:normal;font-family:;"> 放大倍数：40~1000000 |
其收费标准如下：
| 仪器设备 名 称 |
服务项 |
收费标准 |
| 国 际 |
校 外 |
校 内 |
单位内 |
自操作 |
| 聚焦离子电子双束系统 (资产编号：01626894) |
SEM形貌 |
参考校外价 |
600元/小时
200元/样 |
300元/小时
100元/样 |
200元/小时
80元/样 |
8折 |
| EDS能谱 |
参考校外价 |
25元/点
50元/线
100元/面 |
25元/点
50元/线
100元/面 |
25元/点
50元/线
100元/面 |
8折 |
| FIB-TEM 制样 |
参考校外价 |
2000元/时 |
1200元/时 |
1000元/时 |
8折 |
| 喷 金 |
参考校外价 |
60/次 |
60/次 |
60/次 |
8折 |
实验预约联系方式：
联系人及联系电话：
朱 岩：18908636998
朱倩倩：13308626993
办公室：027-87544384
预约平台(网址)：http://leao2.hust.edu.cn
beat365手机版官方网站先进制造与技术实验中心
2017年10月23日
学院微信公众号
