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智能制造装备与技术全国重点实验室
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曹坤
副教授
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kuncao@hust.edu.cn
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个人简介
曹坤(Cao Kun,Associate Professor),beat365手机版官方网站副教授,硕士/博士生导师。主要研究方向为微纳制造领域,选择性原子层沉积原理、方法与装备等,应用于集成电路、光通讯光芯片等器件结构制造。以第一/通讯作者在Nature Communications、Small、Chemistry of Materials、ACS Materials Letters等国内外期刊发表SCI论文40余篇。获湖北省优秀科技论文,国际极端制造期刊IJEM年度最佳论文,J. Vac. Sci. Technol. A期刊年度“most read”论文等。相关研究成果获美国真空协会AVS,国际科技杂志C&EN封面专栏报道,受到台积电、三星、IMEC等企业跟踪研究与引用报道。授权国家发明专利20余项,参研项目获湖北省技术发明一等奖、日内瓦国际发明展评审团特别嘉许金奖等。国家重点研发计划课题负责人,主持国家自然科学基金面上项目、青年项目。作为技术骨干参与国基金重点项目/国际合作交流项目,湖北省创新群体项目等。
研究方向
选择性原子层沉积技术 原子层沉积装备 光电子器件制造与封装
开设课程
本科生课程:《机械设计》,《先进电子制造》,校级公选课《生活中的纳米技术》 研究生课程:《Thin Film Technology》
科研项目
[1] 国家重点研发计划课题:面向芯片先进制程的选择性原子层沉积工艺与装备开发 [2] 国家自然科学基金面上项目:金属纳米颗粒束缚稳定化构型原子尺度精准制备与烧结机理研究 [3] 国家自然科学基金青年项目:包覆型镍基催化剂原子层沉积制备方法及其DRM反应稳定化机理研究 [4] 国家自然科学基金重点项目:面向柔性量子点显示稳定化的原子层沉积跨尺度制造方法研究 [5] 湖北省创新群体:原子尺度制造与测量
论文专著与专利
论文专著: [1] Yicheng Li, Zilian Qi, Yuxiao Lan, Kun Cao*, Yanwei Wen, Jingming Zhang, Eryan Gu, Junzhou Long, Jin Yan, Bin Shan, Rong Chen* “Self-Aligned Patterning of Tantalum Oxide on SiO2/Cu through Redox-coupled Inherently Selective Atomic Layer Deposition” Nature Communications. 2023, 14, 4493. [2] Zerui Jin, Huajun Zhou, Xiao-dong Zhang, Kun Cao*, Rong Chen* “Interface-mediated YIG/Ce:YIG Bilayers Structure with Enhanced Magneto-optical Properties via Pulsed Laser Deposition” ACS Materials Letters. 2023, 5, 803. [3] Kun Cao, Jiaming Cai, Rong Chen, “Inherently Selective Atomic Layer Deposition and Applications”, Chemistry of Materials, 2020, 32, 6, 2195 [4] Kun Cao, Jiaming Cai, Bin Shan, Rong Chen*, “Surface functionalization on nanoparticles via atomic layer deposition”, Science Bulletin, 2020, 65, 678 [5] Jiaming Cai, Zhang Liu, Kun Cao*, Yun Lang, Shengqi Chu, Bin Shan, Rong Chen*, “Highly dispersed Pt studded on CoOx nanoclusters for CO preferential oxidation in H2”, Journal of Materials Chemistry A, 2020, 8, 10180 [6] Yun Li, Kun Cao*, Ying fei Xiong, Huizhi Yang, Yinghao Zhang, Yuan Lin, Binze Zhou, Jing Huang, and Rong Chen* “Composite Encapsulation Films with Ultrahigh Barrier Performance for Improving the Reliability of Blue Organic Light-Emitting Diodes”, Advanced Materials Interfaces, 2020, 2000237 [7] Kun Cao, Miao. Gong, Jianfeng. Yang, Jiaming. Cai, Shengqi. Chu, Zhiping. Chen, Bin. Shan, Rong. Chen, “Nickel catalyst with atomically-thin meshed cobalt coating for improved durability in dry reforming of methane”, Journal of Catalysis, 2019, 373, 351 [8] Kun Cao, Quan Hu, Jiaming Cai, Miao Gong, Jianfeng Yang, Bin Shan, Rong Chen* “Development of a scanning probe microscopy integrated atomic layer deposition system for in-situ successive monitoring of thin films growth”, Rev. Sci. Instrum. 2018, 89, 123702. [9] Qinyong Xiang, Binze Zhou, Kun Cao*, Yanwei Wen, Yun Li, Zhaojie Wang, Chenchen Jiang, Bin Shan, Rong Chen* “Bottom up Stabilization of CsPbBr3 Quantum Dots-Silica Sphere with Selective Surface Passivation via Atomic Layer Deposition” Chemistry of Materials, 2018, 30, 8486 [10] Kun Cao, Lu Shi, Miao Gong, Jiaming Cai, Xiao Liu, Shengqi Chu, Bin Shan*, Rong Chen* “Nanofence Stabilized Platinum Nanoparticles Catalyst via Facet-Selective Atomic Layer Deposition” Small 2017, 13, 1700648. 教材: 《微纳制造科学与技术-从基本原理到工程应用》 专利: [1] Nanoparticle continuous-coating device and method based on spatial atomic layer deposition (ZL201710423764.5) US Patent 10,914,006; PCT/CN2017/088371. [2] 磁光薄膜、光隔离器以及制造磁光薄膜的方法(202111040113.0) [3] 通孔填充方法及通孔填充装置(PCT/CN2022/083792) [4] 原子层沉积设备及原子层沉积薄膜的制备方法(PCT/CN2022/083025) [5] 渗透率检测设备与检测方法(ZL202110706803.9,PCT/CN2021/115362) [6] 气体释放率测量系统及控制方法(ZL202110090792.6) [7] 原子层沉积装置与方法(ZL202110067367.5) [8] 氧化铝基复合纤维及其制备方法和制件(ZL202011629302.7) [9] 基于等离子体原子层沉积的包覆纳米晶薄膜的方法及产品(ZL201911003733.X) [10] 一种钙钛矿量子点发光二极管的制备方法及产品(ZL201910906165.8)
荣誉获奖
湖北省技术发明一等奖(2018年) 第十一届湖北省专利奖银奖(2019年) 中国稀土学会科学技术二等奖(2019年) 湖北省优秀科技论文(2023年) Nanomanufacturing and Metrology Excellent Article Contribution(2023年)
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