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李小清研究员

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个人简介

李小清（Li Xiaoqing，Research Fellow   ）

研究方向

主要从事数控技术，机械电子工程，机器人技术，微电子制造装备，工业自动控制技术，高速高精运动控制技术，伺服驱动技术的研究。

开设课程

科研项目

承担的科研项目：

1. 多介质环境下两栖仿生龟机器人关键技术研究，国家863计划，2007.10-2011.5，项目负责人；

2. 高性能超精密主动隔振系统研发，国家重大专项 2010.1-2012.12； 

3. 双工件台运动控制子系统硬件研发，国家重大专项，2010.1-2012.12； 

4. 国基金 “数控轴插补的理论与实现”， 2011.1-2013.12； 

5. 国基金“面向光刻机的超精密平面电机的设计与试验研究”, 2007.10-2011.10；

6. “100nm光刻机工件台、掩模台运动控制系统”，国家863项目2004-2007； 

7. 国家973项目“高速高精运动的生成和控制”，2004； 

8. 国家863项目“高速高精运动控制器的研制”，2003； 

9. 国家863项目“4+2多足步行机器人的研制”，2002；

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