[仪器]区域法触针扫描表面测量分析系统

功能介绍   

本仪器基于激光干涉技术和触针扫描表面测量技术，结合共面同步计量工作台，实现工程表面形貌的区域法精密测量、分析和评定。主要技术创新：

· 基于激光干涉技术的触针扫描传感器及其垂直和水平定位的非线性误差机理、动态补偿模型和重采样

· 基于双光栅衍射干涉的共面同步计量二维扫描工作台

· 区域法表面特征分析与评定工具箱

· 基于音圈电机的测力主动控制

主要技术参数

 ·垂直测量量程0~12mm

 ·重量测量分辨率5nm(全量程)

 ·测针半径2um，10um，0.5mm，1mm

 ·垂直测量范围300mm（立柱行程）

 ·水平测量面积行程：50mm×50mm

 ·水平测量分辨率0.2um（最小采样间距）

应用范围

本设备可解决工程表面区域法测量和分析问题，满足表面质量、精密加工工艺分析和优化等领域的基础研究和应用研究需求。

研究应用成果展示

国家重大科学仪器专项“高端表面形貌测量系列仪器研究与开发”（2011YQ160013）

国家自然科学基金 “功能表面形貌触针扫描三维精密测量与特征分析的关键技术研究”（51075169）

湖北省自然基金重点项目“三维表面形貌综合测量分析与评定研究”（2008CDA029）

国家支撑计划项目“线轮廓滤波器——样条小波”

863重点项目（2008AA042409）子项目“精密表面形貌测量”