[设备]超声扫描显微镜

  功能介绍    

超声扫描显微镜是一款新型AMI标准仪器，提供最大分辨率和穿透性及多元化的高频传感器。利用不同材料对超声波声阻抗不同、对声波的吸收和反射程度不同，精准探测半导体、元器件等目标物的内部结构；能将采集的数据迅速转变为可用信息，同时还具备多种分析功能，可以帮助识别各种缺陷，并确定缺陷的严重程度。在AMI成像中，各种彩图直观显示了详细的分析信息。适合破损分析、工艺开发以及材料分析与表征，是目前微/纳米技术研究中非常重要的无损检测设备。

 主要技术参数 

·传感器频率1-500Hz

·探头频率5-450Hz

·XY扫描范围：0.25*0.25mm-330*330mm

·扫描速度：1000mm/s 扫描分辨率:X/Y ±0.5μm

·图像分辨率2048*2048-8192*8192

 应用范围 

1. 微电子：塑封IC，陶瓷电容，倒装，天线基板、导电胶、芯片，印刷电路板（PCB）等

2. 微机械系统：粘结芯片，制造工艺评估，包装

3. 军事/航天/汽车电子：高可靠性资格筛选，产品升级筛选、资格筛选

4. 材料：陶瓷，剥离，金属，塑料，化合物

5. 其他：微阵列芯片，生物芯片，微射流技术，传感器等

 该设备研究应用成果 

973项目：超大规模集成电路制造装备基础问题研究

优秀青年科学基金项目：仿生微纳制造与应用研究

国家自然科学基金面上项目：热/声激励的高密度超细间距倒装焊接缺陷诊断方法研究

面向三维集成器件封装的无焊料高密度通孔垂直互连技术研究