[设备]数字全息显微镜

  功能介绍    

对三维形貌实时非接触测量，材料大面积表面形貌快速测量，微小零部件动态性能测试。使用数字全息原理，使该仪器具有非接触，对环境光的干扰不敏感，对振动不敏感，测量时无需对焦等特点。

  主要技术参数 

·全场景3D实时、动态测量；

·横向分辨率不低于450nm（40倍物镜时），纵向分辨率不低于0.6nm；

·动态测试频率达25MHz；

·形貌测量时无需隔振。

  应用范围 

该设备主要用于微小元器件的全场景超快速移动三维测量，材料大面积三维形貌快速测量，表面光洁度分析，实时动态观测等。