[设备]超精密运动系统基础平台

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发布：2016-04-13

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	中文名称：	超精密运动系统基础平台
	英文名称：	Fundamental Platform for Ultra-Precision Motion Systems
	仪器编号：	01201851
	仪器型号：	SS T600/20-01
	生产厂家：	上海微电子装备有限公司
	放置位置：	微纳加工与测量实验室

功能介绍

该平台由基础框架、主动减振器、被动平台等部件组成，主要用于超精密减振理论与关键技术研究和高性能减振系统的研制，并可为超精密加工装备、测量仪器等提供隔振基础平台。

主要功能包括：隔离外界环境振动对被控平台的干扰；抑制被控平台内部振动激励；地基振动、被控平台绝对速度和加速度的检测；产生激励、模拟实际工况，检测超精密减振系统性能等。

主要技术参数

·显示分辨率：5¾位

·单个减振器承载能力1500～2000kg

·6自由度

·主动带宽0.6～200HZ

·固有频率＜0.6Hz

·共振点传递率＜+5db

该设备研究应用成果展示

国家973计划课题：大惯量多体系统的多场多尺度建模与纳米精度运动生成

国家863计划目标导向项目：精微机电产品结构设计方法与集成设计工具

国家02科技重大专项课题：高性能主动隔离系统研发

国家02科技重大专项课题：曝光系统动力学仿真分析及测试平台研究