[设备]双频激光干涉测量系统

  功能介绍    

纳米级运动测量，测量工件台运动过程中的水平三自由度位姿，并实时反馈。

  主要技术参数 

·量程：1mm~10mm

·分辨率：0.15nm

·功能：3轴同步测量

·测量精度：优于10nm

·双轴干涉仪： 左入光 体积<115mm*90mm*42mm

·补偿方式： 波长跟踪器补偿

·数据输出：Ethernet 接口，提供API 程序接口，4 通道位移数据处理，位移数字输出

  应用范围    

广泛应用于机械、物理学、材料学等领域。