[设备]激光跟踪干涉仪

作者：

编辑：郑忠香

发布：2019-06-12

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功能介绍

激光跟踪干涉仪作为一种精密空间坐标测量设备，其结合激光干涉器以及伺服控制设备技术测量目标反射的靶球以及跟踪仪的相对位置。激光跟踪仪以及测量反射靶球可以形成相应的球面坐标系的测量系统，跟踪器的激光光束、旋转轴以及旋转镜面形成了跟踪仪的三个坐标轴，并且通过延长线的交点形成整个球面坐标系的原点。

主要技术参数

1.干涉仪的分辨率为0.001μm；

2.标准球在温度变化±1k的稳定性为±0.1μm；

3.测量范围达到0.2m--15m；

4.激光干涉测量长度的不确定度（误差）达到0.2μm+0.3μm/m。

应用范围

测量数控机床的几何误差，并对机床工作空间各点的空间误差进行全面高效的评测，基于空间误差模型，对数控机床的空间误差进行补偿，提高空间精度达到50%以上。