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中文名称： |
三维光学显微镜 |
英文名称： |
3D optical microscope |
仪器编号： |
暂无 |
仪器型号： |
ContourGT-K |
生产厂家： |
Bruker公司 |
放置位置： |
先进制造大楼东楼D104精密测量实验室 |
实验负责人： |
任老师 18064093088 |
功能简介
ContourGT-K三维光学显微镜完善了表面测量和分析的新标准，这套测量系统拥有工业领先的测量性能和灵活性，采用专利白光干涉技术，超大视野内埃级至毫米级的垂直计量范围，具有业界最高的垂直分辨率和测量重复性，凭借其独特的直观用户界面和功能最全的自动化检测、分析功能，方便用户快速高效的获得材料粗糙度、二维/三维表面分析以及高分辨成像，广泛应用于LED、太阳能电池、薄膜材料、MEMS、精密机械零部件、摩擦磨损等各个领域，满足各种表面测量的实际需求。
高分辨测量成像技术
·最高的垂直分辨率
·最大的垂直计量范围
·先进的防震设计，提高测试系统稳定性
·高分辨彩色成像
强大的分析测试软件
·简单高效，人性化的工作流程
·实时自动优化测量
·完整的数据分析软件包
·用户自定义分析报告
技术参数
最大扫描量程 |
可达10mm |
垂直分辨率 |
<0.01nm |
RMS重复性（PSI） |
0.01nm |
横向分辨率 |
0.38μm min (Sparrow 准则)；0.13μm (AcuityXR™)；0.01μm (NanoLens) |
台阶高度误差 |
<0.75% |
台阶高度重复性 |
<0.1% 1 σ |
最大扫描速度 |
47μm/sec |
样品反射率 |
0.05% - 100% |
最大坡度 |
40° (光滑面)；87° (粗糙面) |
样品高度 |
100mm（4in.） |
XY样品台 |
150mm（6in.）手动或者选择马达驱动 |
Z调焦范围 |
100mm（4in.）手动或者选择马达驱动 |
可倾斜扫描头 |
±6° 手动 |
物镜 |
Parfocal: 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 115x LWD: 1x, 1.5x, 2x, 5x, 10x TTM: 2x, 5x, 10x, 20x Bright field: 2.5x, w5x, 10x, 50x |
可用放大镜 |
0.55x, 0.75x, 1x, 1.5x, 2x |
相机 |
标配: 640 x 480; 高清（可选）：1280 x 960 高清（可选）：640 x 480 |
软件系统 |
基于Windows 7 64位操作系统的Vision64 分析软件 |
可选软件包 |
生产模式; AcuityXR; HD VSI;高速自动对焦; 光学分析包; 高级成像模式; 厚膜测试模式; MatLab; SDK |
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