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中文名称： |
白光干涉仪 |
英文名称： |
white light interferometer |
仪器编号： |
02306672 |
仪器型号： |
ER230 |
生产厂家： |
板石智能科技（深圳）有限公司 |
放置位置： |
先进制造大楼东楼W102集成电路测量装备研究中心 |
功能介绍
测量各类样品的表面微观形貌、微观轮廓、表面粗糙度及其分析等。
主要技术参数
（1）Z轴扫描范围：5000um
（2）最大扫描速度：400um/s
（3）RMS重复性：＜0.005nm
（4）1-σ，12μm台阶高度重复性：＜3um/0.025%
（5）1-σ，12um台阶高度准度：＜10nm/0.08%
（6）被测物体反射率：0.02%-100%
（7）横向分辨率几百nm
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