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中文名称: |
分光光度计3700i |
英文名称: |
Spectrophotometer |
仪器编号: |
02220444 |
仪器型号: |
SolidSpec-3700i DUV |
生产厂家: |
日本岛津 |
放置位置: |
先进制造大楼东楼W102集成电路测量装备研究中心 |
功能介绍
可实现170nm-3300nm波段范围内的高精度吸收光谱、反射光谱和透射光谱的测试分析,进而分析材料和器件的物理光学性质。可用于新材料宽光谱光学特性分析、新器件宽光谱光学特性测量评估等领域。
主要技术参数
(1)层析穆勒矩阵散射场建模计算与测量能力;
(1)波段范围:170nm-3300nm
(2)光谱分辨率:0.1nm
(3)光谱带宽:UV/VIS波段0.1nm-8nm可切换;NIR波段0.2nm-32nm可切换
(4)检测器:光电倍增管 / InGaAs /Cooled PbS
(5)杂散光:<0.0001T @220nm&340nm;<0.0005T @1420nm;<0.005T @2365nm
(6)最大样品尺寸:>500mm*500mm