“微纳制造与纳米测量技术”教育部创新团队顺利通过验收

5月30日上午，依托我校数字制造装备与技术国家重点实验室的“微纳制造与纳米测量技术”教育部创新团队结题验收工作会议在先进制造大楼A416会议室隆重召开。结题验收专家组组长由西安交通大学蒋庄德院士担任，成员有大连理工大学贾振元教授、中南大学朱文辉教授、清华大学路新春教授、武汉理工大学华林教授。我校科发院副院长高亮教授，beat365手机版官方网站党委书记、创新团队负责人史铁林教授，“微纳制造与纳米测量技术”教育部创新团队成员等20余人参加了会议。

    受教育部委托，此次验收报告会由蒋庄德院士主持。科发院副院长高亮教授致欢迎词，简要介绍了此次会议的主要议程、与会来宾的情况以及“微纳制造与纳米测量技术”教育部创新团队的基本情况。之后，由蒋庄德院士主持验收报告流程。“微纳制造与纳米测量技术”教育部创新团队带头人史铁林教授从创新团队简介、团队发展与平台建设、创新能力与社会贡献、科教结合与人才培养和团队文化与管理运行等5个方面向专家组做了详细汇报。随后专家组现场考察了该创新团队核心成员的相关实验室，参观了机械工程学院大型仪器共享平台，进一步加深了对该创新团队在前沿技术的基础研究、仪器开发与应用、对科学发展与人才培养等方面的了解。

在该创新团队接受了专家组的质询与答疑后，专家组通过集中评议，向我校参会人员反馈了此次验收形成的综合意见。专家组对创新团队在资助期间所取得的优异成绩给予了充分肯定和高度赞赏。专家组指出：“微纳制造与纳米测量技术”教育部创新团队以学科发展前沿和国家重大需求为导向，构建了多学科交叉和教学平台，以基础科学问题和大型科研项目为纽带，通过整合、培养与引进的方式，聚集了机械制造、自动控制、计算机、软件、仪器、微纳光学、仿生制造和无损检测等学科人才，开展了原子层沉积技术与应用、跨尺度微纳复合结构制备技术与应用、表面测量技术、仪器与应用和纳米结构测量理论、技术、仪器与应用等方面的研究，为我国在微纳加工、纳米测量等领域提供了理论与技术支撑，填补了国内多项技术的空白和打破国外的相关技术垄断。创新团队在此期间的方向定位明确，成果十分显著。尤其是在原子层沉积技术与应用、跨尺度微纳复合结构制备技术与应用、表面测量技术、仪器与应用和纳米结构测量理论、技术、仪器与应用研究等四个方面取得了具有创新性的累累硕果。该团队秉承着在人才方面的引进与培养并举，不仅重视“引进”人才，而且重视“培养”人才，更重要的是“用好”人才，形成了一支学术思想活跃、科学知识互补、年龄梯度合理的研究队伍。此外，创新团队建立了完善的运行机制，重视仪器的开发与服务，积极开展了国际交流与合作。

专家组一致同意通过结题验收，并认为总体优秀。同时，专家组建议教育部给予滚动支持，建议学校加大投入继续支持。针对专家组的建议，科发院副院长高亮教授和团队负责人史铁林教授表示将按照专家组的建议和意见不断改进和完善，为将该创新团队打造成一支具有国际知名度的创新群体不懈努力。史铁林教授殷切希望该创新团队成员能够继续励精图治，踵事增华，也希望团队能够在产学研的道路上走向新的辉煌。

    据悉，该团队在建设期间，取得了一系列科研成果。该团队面向微纳制造与纳米测量技术领域，在原子层沉积、跨尺度微纳复合结构制备、表面测量、纳米结构测量等方面取得了突破性进展；提出了选择性原子层沉积方法，并开发了两类高效薄膜生长装备；提出了多种规模化、跨尺度、低成本微纳结构制造工艺；开发了“高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪”等系列测量仪器，并成功实现了产业化，为国内外20余家研究机构提供了设备和测试服务；团队人才培养和引进成效显著，团队现有国家杰青1名、国家优青1名、科技部中青年科技创新领军人才2名、青年4名，获人才和团队奖6项。培养博士后、博士、硕士108名，承担研究生课程9门、本科生课程18门；承担国家重大基础研究项目、国家重大仪器专项、国家自然科学基金等科研项目30余项，经费约1.1亿元；发表SCI论文167篇，出版专著5部；授权发明专利69项，其中美国专利3项；获国际发明奖3项；举办学术论坛11次；受邀做特邀报告25次。