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[设备]白光干涉仪ER230

作者:编辑:郑忠香发布:2024-01-31点击量:
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中文名称:

白光干涉仪

英文名称:

white light interferometer

仪器编号:

02306672

仪器型号:

ER230

生产厂家:

板石智能科技(深圳)有限公司

放置位置:

先进制造大楼东楼W102集成电路测量装备研究中心

 

功能介绍

测量各类样品的表面微观形貌、微观轮廓、表面粗糙度及其分析等。

主要技术参数

(1)Z轴扫描范围:5000um

(2)最大扫描速度:400um/s

(3)RMS重复性:<0.005nm

(4)1-σ,12μm台阶高度重复性:<3um/0.025%

(5)1-σ,12um台阶高度准度:<10nm/0.08%

(6)被测物体反射率:0.02%-100%

(7)横向分辨率几百nm

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